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產(chan)品名稱：

產品介(jie)紹 規格/3D圖紙(zhi) 尺寸圖 訂購信息

 產品特點：

1、工作臺采用十字疊層線規結構，滿足 XY 兩個自由度運動
2、微米級重復定位精度
3、單軸直線度 1μm
4、XY 兩軸正交性可達±2arc-sec
5、直線電機驅動，光柵尺反饋

 

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