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產品名(ming)稱：

產品介紹(shao) 規格(ge)/3D圖紙 尺(chi)寸圖 訂購信(xin)息(xi)

特點：

1、亞微米級重復定位精度
2、單軸直線度5μm
3、XY 兩軸正交性可達±5arc-sec
4、直線電機驅動，光柵尺反饋


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